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12.5.3 A BIST Example for MEMS Comb Accelerometers

一个典型的表面微机械梳齿式加速度计surface-micromachined comb accelerometer如下图所示：

这不就是微机电系统那门课里面讲的典型案例嘛，没意思。这里首先讲了构成，然后讲了原理和公式，然后讲了工作过程示意，如下图：

下图就进入正题，展示的是具备dual-mode BIST功能的comb accelerometer结构：

讲了BIST的原理。

12.5.4 Conclusions

就是说MEMS的测试重要性越来越显著，尤其是BIST。

12.6 HIGH-SPEED I/O TESTING

I/O的速率发展也随着集成度提高得到了很大的提升，但它还是不如芯片内部速率快，比如主流处理器内部能跑到3-4GHz，但是前端总线front-side bus (FSB)仅能跑到800Mbps，这就极大地影响了处理器的架构，比如就需要增大缓存容量去缓解FSB的带宽需求。