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主流工业面阵相机完整参数表

重要说明

1. 像元尺寸、总像素、靶面规格：相机传感器硬件固有参数，相机本身不变。
2. 光学放大倍率 β、视场 FOV、物元尺寸（像素当量）：属于相机 + 镜头组合系统参数，不是相机固有属性；下表统一采用两套典型远心镜头倍率：β=0.5×、β=1.0×做参考计算。
3. 核心公式：

\(β=\frac{传感器靶面宽度}{视场宽度}\)

\(物元尺寸=\frac{像元尺寸}{β}=\frac{视场宽度}{水平像素数}\)

表格

倍率变化规律：

• β 增大（放大倍率变大，如 2×）：物元尺寸变小、视场变小，分辨能力提升；
• β 减小（如 0.25×）：物元尺寸变大、视场变大，分辨能力下降。

参数属性区分表

表格

工程选型要点（晶圆 / 深紫外检测）

1. 工程可稳定分辨最小缺陷：≥3 倍物元尺寸，采样定理 2 倍为理论下限，实际留余量。
2. 266nm 深紫外场景优先大像元 9.76‑16μm，弥补紫外波段光子少、信噪比低；牺牲分辨率换信噪比。
3. 可见光高精度检测选2.2‑3.45μm 小像元，但对镜头解析力、光照强度要求显著提高。
4. 镜头衍射极限分辨率必须优于物元尺寸，否则镜头成为整套系统分辨率瓶颈。
5. 运动工件检测选全局快门；静止被测物可用卷帘快门，成本更低。