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AE 3156360-141 射频发生器

AE 3156360-141 是 Advanced Energy 公司生产的 HF Paramount 6013 型射频电源，输出功率 6kW，频率 13.56MHz，主要用于半导体制造等工艺中的等离子体生成。

一、产品特点（5条）

1. 专为等离子体工艺设计的射频电源，输出稳定。

2. 输出功率 6kW，适用于中高功率工艺应用。

3. Advanced Energy 原厂制造，品牌可靠。

4. 型号 HF Paramount 6013。

5. 已通过 CE 认证，符合安全标准。

二、产品参数（5条）

1. 制造商：Advanced Energy，零件号 3156360-141。

2. 型号：HF Paramount 6013。

3. 输出：6kW，13.56MHz。

4. 输入电源：三相，200-208VAC，50/60Hz。

5. 市场状态：多为未测试的二手或库存品流通。

三、应用领域（5条）

1. 半导体刻蚀工艺。

2. 化学气相沉积（CVD）。

3. 物理气相沉积（PVD）溅射。

4. 等离子体清洗和表面处理。

5. 科研及实验室等离子体应用。

总结：AE 3156360-141 是一款 6kW 工业级射频发生器，主要用于半导体等离子体工艺