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理论分析

微纳力学

MEMS悬臂梁弯曲

单晶硅 (Si)

微悬臂梁在均匀分布载荷下的挠度分析（数学分析及数学物理 + 几何 + 材料科学 + 函数评估）

1. 建立坐标系：梁长度L，宽度b，厚度h，固定端x=0，自由端x=L。
2. 欧拉-伯努利梁方程：EIdx4d4w​=q(x)，其中E为杨氏模量，I=bh3/12为惯性矩，q(x)为分布载荷。
3. 边界条件：w(0)=0,w′(0)=0,w′′(L)=0,w′′′(L)=0。
4. 求解微分方程