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28：Event Report（事件上报）CEID配置与应用

一、本课学习目标

1. 掌握Event事件、CEID编号基础定义与GEM规范
2. 理解S6F13/S6F14事件上报报文交互逻辑
3. 分清产线常用事件分类、触发时机
4. 学会EAP配置CEID订阅、缺事件的排查思路
5. 明白事件数据对接MES、FDC的业务作用

二、基础概念说明

1. Event Report事件

设备运行中关键动作、状态变更、生产节点发生时，设备主动上报的记录信息。

• 上报报文：S6F13（设备→EAP，W=0，无需应答）
• EAP如需订阅配置：提前约定CEID清单写入EAP配置

2. CEID（Collection Event ID）

• 事件唯一编号，机台原厂固定定义，每一个事件对应独立CEID
• 机台手册Communication手册可查询全部CEID清单、事件说明
• EAP只订阅需要的CEID，未订阅事件设备不会主动上抛S6F13

3. 事件携带内容

CEID编号 + 事件发生时间 + 绑定SV/DV变量数据（附带对应参数）

三、现场四大类常用事件清单

1. 生产Lot相关事件（MES对接核心）

1. Lot Start：批次开始加工
2. Lot End：批次加工完工
3. FOUP Load/Unload：料盒上下机台
   作用：MES凭事件做工单开工、完工入库、产能统计

2. 机台状态变更事件

IDLE→RUN、RUN→PAUSE、LOCAL↔REMOTE、ONLINE↔OFFLINE切换
作用：EAP界面状态联动刷新、稼动统计

3. Recipe相关事件

配方下载完成、配方激活、配方切换
作用：记录配方变更履历，R2R参数变更追溯

4. 传输动作事件

机械手取片、晶圆到位、腔体开关腔门、Port开关
作用：FDC绑定单片生产节点，分段采集工艺数据

四、S6F13/S6F14交互规则

1. S6F13：设备主动上报事件（W=0，异步上报）
2. S6F14：仅Host下发订阅配置时应答，正常事件上报不用回复
3. 机台只有EAP订阅过对应CEID，才会触发S6F13上报

五、EAP配置CEID标准流程

1. 查阅机台GEM手册，导出本机台全部CEID列表与注释
2. 筛选产线需要的事件（Lot启停、状态、Recipe、传输事件）
3. 在EAP配置页录入CEID编号、事件名称
4. EAP通过对应SECS指令向机台完成订阅
5. 重启通信链路，生效配置，等待设备触发事件上送S6F13

六、事件异常排查（收不到事件S6F13）

故障1：完全无任何事件上报

1. CEID未在EAP配置、未向机台订阅
2. 机台侧GEM事件上报功能被关闭
3. EAP与机台SECS通信异常

故障2：个别事件缺失（如Lot End不上报）

1. 对应CEID漏配置
2. 机台该事件触发逻辑故障
3. 机台屏蔽该CEID上报

故障3：事件上报但是MES收不到

EAP内部转发配置异常、接口中断

七、事件在产线上下游数据流向

设备触发事件→S6F13→EAP→一路上传MES做生产管控，一路推送FDC绑定工艺曲线

八、本课核心总结

1. 事件上报载体：S6F13，W=0设备主动上送
2. CEID是事件唯一编码，配置订阅是收到事件的前提
3. 事件分四大类：生产Lot、状态、Recipe、传输动作
4. 收不到事件优先查：CEID配置→订阅生效→机台上报开关
5. 事件是MES工单闭环、FDC分批次数据的关键数据源

九、课后小作业

1. 事件上报对应哪条SECS消息、W位数值？
2. CEID全称与作用是什么？
3. 列出四类常用事件并举例
4. 收不到Lot Start事件排查三步法？
5. 简述事件完整数据流转路径