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当高能电子束与样品相互作用时，会产生多种类型的信号。

这些信号提供了有关材料表面形貌、成分和结构的关键信息。

1.二次电子（SE）

是入射电子将样品表面附近原子中的低能电子激发出来的。

它们携带表面敏感信息（深度<10 nm）。

用于：高分辨率表面成像和形貌观察。

2.背散射电子 (BSE)

是指能量损失极小而从样品表面反射回来的初级电子。

信号强度取决于原子序数——较重的元素看起来更亮。

用途：成分对比和材料相区分。

3.特征X射线

当内层电子被击出并被外层电子取代时，会释放出具有元素特定能量的X射线。

用途：通过EDS或WDS探测器进行元素分析。

4.俄歇电子

是指电子跃迁产生的过剩能量传递给另一个电子而不是发射X射线时产生的电子。它对表面高度敏感（深度1-5纳米）。

用于：通过俄歇电子能谱（AES）进行表面化学分析。

5.阴极发光（CL）

是指电子轰击激发材料时，材料发出可见光或近紫外光的现象。

用于：研究半导体、矿物和缺陷相关的发光现象。